● OffenAusschreibungLieferauftrag🇪🇺 EU-FörderungTED 100/2026
JKU Linz: 02/2026 Elektronenstrahllithographiegerät
Auftraggeber
Veröffentlichung (ABl.)
22.05.2026
Einreichungsfrist
29.06.2026
Vertragslaufzeit
12.0 Monate
Verfahrensart
Offenes Verfahren
Sitz des Auftraggebers
Linz (4040) — AT312
Sektor
Beschreibung
Lieferung, Aufbau und Inbetriebnahme eines Geräts zur Elektronenstrahllithographie (inkl. Schulung)
CPV-Codes
38000000
Lose (1)
LOT-7110JKU Linz: 02/2026 Elektronenstrahllithographiegerät
Lieferung und abnahmefähige Installation und Inbetriebnahme eines Elektronenstrahllithographiesystems mit mindestens 50 keV Elektronenenergie und hoher Schreibgeschwindigkeit, hoher Auflösung und exakter Platzierung von Strukturen, beides im 10 nm Bereich (inkl. Schulung)
3800000012 Monate
Zuschlagskriterien
Gewünschte Zusatzeigenschaften
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